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                          | 半導(dǎo)體特氣檢測(cè)儀XD-303 半導(dǎo)體特氣檢測(cè)儀XD-303 
 
| 特點(diǎn): 
 采用定電位電解式傳感器,對(duì)被測(cè)氣體具有選擇性。
 
 高檢測(cè)靈敏度。
 
 能檢測(cè)很多種類的半導(dǎo)體特氣。
 
 液晶數(shù)字顯示。
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| 型  號(hào) | XD-303AH | XD-303PH | XD-303BH | XD-303 |  
| 檢測(cè)對(duì)象氣體 | 砷烷 (ASH3) | 磷烷 (PH3) | 乙硼烷 (B2H6) | 其它 |  
| 檢 測(cè) 范 圍 | 1ppm 0~0.2ppm | 0~1ppm 0~0.3ppm | 0~1ppm | 因規(guī)格而異 |  
| 最 小 刻 度 | 0.1ppm 0.01ppm | 0.1ppm 0.01ppm | 0.1ppm |  |  
| 采 樣 方 式 | 自動(dòng)吸引式 |  
| 應(yīng) 答 速 度 | 60%應(yīng)答40秒 |  |  |  |