綠色器件佳能開始銷售新的高容量的FPA-3030i5 +

綠色器件佳能開始銷售新的高容量的FPA-3030i5 +
2012年佳能公司今天宣布，該公司已經(jīng)開始銷售新的FPA-3030i5 + i線步進設(shè)計，以提供高效節(jié)能的“綠色設(shè)備”制造一個長期的制造解決方案，和MEMS （微機電系統(tǒng)）設(shè)備。


Canon FPA-3030i5+ 

作為清潔能源和節(jié)能增加的認識，也有新的需求，“綠色技術(shù)”，包括風能和太陽能發(fā)電，車輛的燃油效率，低功耗的設(shè)施和環(huán)保設(shè)備。趨勢表明，向產(chǎn)品和運營對環(huán)境的影響減少驅(qū)動器。
真空表| 硬度計| 探傷儀| 電子稱| 熱像儀| 頻閃儀| 測高儀| 測距儀| 金屬探測器
環(huán)保設(shè)備制造商有獨特的工藝要求，并已納入到家計3030i5 +半導體步進設(shè)計一些新的升級。 FPA-3030i5 +是專為各種用戶，包括功率半導體，LED（發(fā)光二極管）和MEMS制造商提供一個靈活的解決方案。

佳能FPA-3030i5 +在同類產(chǎn)品中實現(xiàn)最高級別的成像分辨率，套印精度和生產(chǎn)率表現(xiàn)
根據(jù)通過的現(xiàn)場驗證焦平面-3000系列，在焦平面-30303i5培養(yǎng)技術(shù)+能夠提供低于350納米的成像分辨率* 1保持覆蓋小于40納米* 1和吞吐量超過104每小時晶圓精度的同時， * 2提供最高級別的性能，在同一類的i線光刻工具。* 3佳能開發(fā)的FPA-3030i5 +系統(tǒng)，以可靠地滿足和超越綠色器件和MEMS制造商的成像，疊加和生產(chǎn)力的要求。

FPA-3030i5 +采用新的軟件結(jié)構(gòu)和電氣控制系統(tǒng)，允許應(yīng)用先進的硬件和軟件選項，以支持下一代半導體制造。

佳能FPA-3030i5 +支持綠色器件和MEMS制造所需的特殊基板材料
焦平面-3030平臺，允許加工硅（Si），藍寶石（Al2O3），碳化硅（SiC）和各種各樣的綠色設(shè)備制造中使用的晶圓材料。 FPA-3030i5 +選項包括翹曲晶圓處理系統(tǒng)允許扭曲基板的加工。的FPA-3030i5 +步進還可以被配置來處理多個晶圓尺寸，并且可以配備多種選項，以提高生產(chǎn)力和效率。

* 1 1 nm（納米）= 1米的十億分
* 2 200毫米晶圓，每片晶圓的60桿
* 3截至2012年6月15日，在同一類的i線光刻工具（基于佳能的市場調(diào)研）